schema_version: 1.0.0 foundry: IMEC technology: IMEC_Si220_Active constants: lib_path: GDS_lib\ W_ISL: 5 SP_ISL: 5 SZ_CT: 0.25 SP_CT: 0.35 SP_METAL: 1.5 layers: WG_COR: layer: - 37 - 4 aliases: - STRIP_COR WG_CLD: layer: - 37 - 5 aliases: - STRIP_CLD WG_TRE: layer: - 37 - 6 aliases: - STRIP_TRE WG_PRI: layer: - 38 - 0 aliases: - STRIP_PRI FC_COR: layer: - 35 - 4 aliases: - SRIB_COR FC_CLD: layer: - 35 - 5 aliases: - SRIB_CLD FC_TRE: layer: - 35 - 6 aliases: - SRIB_TRE FC_PRI: layer: - 36 - 0 aliases: - SRIB_PRI SKT_COR: layer: - 43 - 4 aliases: - RIB_COR SKT_CLD: layer: - 43 - 5 aliases: - RIB_CLD SKT_TRE: layer: - 43 - 6 aliases: - RIB_TRE SKT_PRI: layer: - 44 - 0 aliases: - RIB_PRI FCW_COR: layer: - 31 - 24 FCW_CLD: layer: - 31 - 25 FCW_TRE: layer: - 31 - 26 FCW_PRI: layer: - 32 - 0 METPASS: layer: - 18 - 0 aliases: - PAD MHD: layer: - 14 - 0 aliases: - HEATER PCON: layer: - 10 - 0 aliases: - VIA_S2M PVH: layer: - 53 - 0 aliases: - VIA_H2M M1_DRW: layer: - 11 - 0 aliases: - METAL M1_NOFILL: layer: - 11 - 9 M2_DRW: layer: - 13 - 0 aliases: - METAL_2 M2_NOFILL: layer: - 13 - 9 VIA12: layer: - 12 - 0 aliases: - VIA_M2M LPASS: layer: - 91 - 0 aliases: - GC_OPEN PASS1: layer: - 16 - 0 aliases: - SiN_OPEN PASS2: layer: - 17 - 0 aliases: - PAD_OPEN EXPOWG: layer: - 84 - 0 N1: layer: - 2 - 0 P1: layer: - 3 - 0 N2: layer: - 6 - 0 P2: layer: - 7 - 0 NBODY: layer: - 25 - 0 PBODY: layer: - 26 - 0 NP: layer: - 4 - 0 PP: layer: - 5 - 0 xsections: strip: layers: - layer: STRIP_COR growx: 0 growy: 0 - layer: STRIP_CLD growx: 2 growy: 2 strip_cor: layers: - layer: STRIP_COR growx: 0 growy: 0 rib_s: layers: - layer: RIB_COR growx: 0 growy: 0 - layer: RIB_CLD growx: 2 growy: 2 rib: layers: - layer: RIB_COR growx: 0 growy: 0 - layer: RIB_CLD growx: 4.1 growy: 4.1 - layer: STRIP_COR growx: 4 growy: 4 - layer: STRIP_CLD growx: 6.5 growy: 6.5 drib: layers: - layer: RIB_COR growx: 0 growy: 0 - layer: RIB_CLD growx: 4 growy: 4 - layer: STRIP_COR growx: 2 growy: 2 - layer: STRIP_CLD growx: 4 growy: 4 pad: layers: - layer: METAL_2 growx: 0 growy: 0 - layer: SiN_OPEN growx: -3 growy: -3 - layer: PAD growx: 0 growy: 0 - layer: PAD_OPEN growx: -3 growy: -3 expowg: layers: - layer: EXPOWG growx: 0 growy: 0 - layer: FCW_COR growx: 1 growy: 1 - layer: FCW_CLD growx: 3 growy: 3 materials: {}